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Kazuhisa Matsuda

自分たちが先駆けて、
世界初を
世に出してみせる、
と熱い想いを抱いて。

松田 和久
デバイス・プロセス 技術開発
メモリ技術研究所 プロセス技術研究開発センター
2012年度入社/化合物半導体専攻

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Kazuhisa Matsuda

次世代メモリ向け新規材料の
成膜技術を開発

フラッシュメモリは大容量化できる代わりアクセス速度が遅い、DRAMはアクセス速度が速い代わり大容量化が難しい…というのが、現在の主要な二つのメモリのポイントです。当然、誰もが思いつくのは、両方のいいとこどりをした「大容量でアクセス速度の速いメモリ」。代表的なデバイスがSCM(Storage Class Memory)と呼ばれる次世代メモリで、ワールドワイドで開発競争が進んでおり、4~5年先には世に出るだろうと期待を集めています。

私は、この次世代メモリの製造に必要な成膜のプロセス技術を開発しています。ALD(Atomic Layer Deposition:原子層堆積)という手法を利用し、新規材料のウエハー上に薄膜を形成するプロセスです。真空のチャンバー(成膜室)のなかにウエハーをセット。緻密な制御のもと、ガスを吹き込み、ごく薄い膜を付けるのですが、厚さはなんと2~3nm。文字通り、原子の層をウエハー上に積もらせていくわけで、ナノオーダーの極限に迫る技術と言えるでしょう。

具体的には、研究室のALD装置を使い、プロセス条件を工夫して成膜のサンプルを作成し、物理的/電気的特性を評価。何度か条件を変えて成膜、評価のフローを繰り返すと同時に、成膜した新規材料を適用した次世代メモリデバイスの試作・検証まで手がけます。トライアルを重ねながら、成膜技術や評価技術、デバイスへの適用について、最適なメソッドとロジックの構築を図る取り組みです。

まだ世の中で確立されていない
技術の地平を拓く

次世代メモリのものづくりは、まだ世の中で確立されていない技術です。モデルになる前例やお手本は存在しない、というより、それを創り出していくのが私たちのミッション。新規材料の何たるかをはじめ、詳細を明かせないほど機密が多いのも、最先端の領域を開拓しているからにほかなりません。ただし、成果は着実に挙がりつつあり、必ず近い将来「自分たちが先駆けて、世界初を世に出してみせる」と、全員が熱い想いを抱いて「その日」を目指していることだけは、はっきり申し上げておきたいと思います。

ここでは、私が今のプロジェクトの前に、別の新規材料の加工技術を開発した経験を紹介し、まだ確立されていない技術を追究する醍醐味をお伝えしましょう。
ランタン(La)という金属の絶縁膜材料で、誘電率が高く、そのぶん膜厚を薄くできるため、次世代の有力な半導体材料のひとつに目されるいっぽう、加工が難しいという課題が立ちはだかっていました。私は、特に難しいとされていたプラズマエッチングの観点からアプローチ。これまで知見のない材料に対して新たな加工方法を見出し、学会発表、論文化まで行いました。ALDの成膜でも同様ですが、自分なりのアイデアを適用して成功した時の達成感がたまらないから、前例のない道を切り拓く技術の冒険に邁進しているのです。

自分が思ったことを、
すぐ実行できる

私が所属しているプロセス技術研究開発センターでは、リソグラフィ、エッチング、成膜など、一連の半導体製造プロセスの技術者がひとつのオフィスに集まり、新しい材料やプロセスのR&Dに取り組んでいます。役職やキャリア、年齢に関係なく、誰にでも気軽に相談、質問できるので、専門の成膜はもちろん、関連するプロセスの知見まで吸収し、視野を拡げていけます。

個人の希望に耳を傾けてもらえるのも、当社の嬉しい文化です。私は入社後、材料の加工技術に携わって学会発表などを行うなかで、成膜技術に強い関心を抱くようになり、加工から成膜への異動を希望して認められました。
時間と資金にもゆとりがあり、自分が思ったことを、すぐ実行に移せます。環境に恵まれているだけに、「自分の技術を世の中に出す」のが、個人としての数年先のゴール。ぜひ新規材料の成膜で成果を挙げて、次世代メモリの実用化に寄与しようと期しています。

私が当社を選んだ理由

大学院で化合物半導体の光材料特性を研究したので、「半導体に関わる仕事に就きたい」と思ったのが第一の理由です。また、自分の技術の成果を製品にして世に出したいと望んでいたので、開発寄りの仕事ができる当社を志望しました。

学生のみなさんへ

半導体や製造プロセスなどの知識は、実務に携わるなかで自然に身につきます。それよりも大事なのは、知的好奇心。もっと知りたい、もっと理解したいと興味を持って活動していけば、モチベーションを保てますし、確実に成長できます。ただ、あまり前例のない開発への挑戦では、うまくいかないことも多々あります。肉体的にも精神的にもタフな人、根気よく粘り強く頑張っていける人に向いている会社であり仕事だと思います。

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掲載日/2018年3月1日 ※所属・役職・仕事内容は掲載当時のものです

オフの日の過ごし方

お酒が好きなので、仲のいい先輩とよく飲みにいきます。週末を中心に、週に一回は飲んでいます。

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